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ASML回應DUV光刻機出口認可問題:僅部分機型受限

王林
王林轉載
2023-07-01 17:33:17962瀏覽

7月1日消息,據小編了解,光刻機領導者ASML公司近日回應了關於其旗下DUV光刻機出口認可的問題,進一步澄清了相關規定和時間表。

根據ASML的表態,出口管制條例僅適用於一些最新型號的DUV光刻機,特別是包括TWINSCAN NXT:2000i及其後續推出的浸潤式微影系統。而EUV光刻機在之前已經受到了限制,其他類型的光刻機發運並未受到管控。

ASML回應DUV光刻機出口認可問題:僅部分機型受限

ASML強調,這項管制規定將於9月1日正式生效,而公司已經積極向相關部門提交了許可申請,​​以確保業務的正常進行。因此,在9月1日之前出貨的DUV微影機不受影響,業界先前猜測的TWINSCAN NXT:1980Di型號也不會受到影響。

半導體產業的高階主管曾表示,只有透過通力合作,才能建構一個完全獨立的產業鏈。他們強調,即使不是不可能,但要實現這一目標也會極為困難。

此次ASML對DUV光刻機出口認可問題的回應引起了廣泛關注。希望ASML能成功取得相關許可,以保障產業的穩定發展,業界一直對許可申請的進展持續關注。

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