真空发生器是一种用于产生高真空环境的设备，它的工作原理可以分为三个阶段：
抽气阶段：首先，真空发生器会通过吸入管连接目标容器或系统，在其内部建立一个低压区域。此时，外界压强将会推动气体进入系统的出口，而真空发生器的出口则维持着低压状态，从而形成一定的抽气气流。
中档阶段：当压强降低到一定值后，气体分子之间的相互作用力越来越小，分子间的自由程增大，气体分子的速度增加，此时气体分子碰撞壁面后的弹性反弹损失也变大，因此气体分子从壁面弹出的速率增加。同时，由于壁面和气体分子间的碰撞过于频繁，发热量随着气体分子数的减少而降低，导致温度下降，也就是我们常说的“低温抽真空”阶段。
高真空阶段：当压强进一步降低时，气体分子之间的相互碰撞变得极为稀疏，几乎没有碰撞，这时气体分子主要是由壁面弹出，从而产生“壁面效应”。此时，称气压为高真空。在高真空状态下，气体分子数量非常少，几乎可以忽略不计。同时，高真空状态也具有稳定性好、相关干扰小、能够更加准确地测量等特点。
综上，真空发生器的工作过程就是将目标容器或系统内的气体通过抽气阶段和中档阶段，使得气压降低，最终达到高真空状态的过程。