真空產生器是一種用於產生高真空環境的設備，它的工作原理可以分為三個階段：
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抽氣階段：首先，真空產生器會透過吸入管連接目標容器或系統，在其內部建立一個低壓區域。此時，外界壓強將會推動氣體進入系統的出口，而真空發生器的出口則維持低壓狀態，從而形成一定的抽氣氣流。
中檔階段：當壓強降低到某一值後，氣體分子間的相互作用力越來越小，分子間的自由程增大，氣體分子的速度增加，此時氣體分子碰撞壁面後的彈性反彈損失也變大，因此氣體分子從壁面彈出的速率增加。同時，由於壁面和氣體分子間的碰撞過於頻繁，發熱量隨著氣體分子數的減少而降低，導致溫度下降，也就是我們常說的「低溫抽真空」階段。
高真空階段：當壓力進一步降低時，氣體分子之間的相互碰撞變得極為稀疏，幾乎沒有碰撞，這時氣體分子主要是由壁面彈出，從而產生「壁面效應」。此時，稱氣壓為高真空。在高真空狀態下，氣體分子數量非常少，幾乎可以忽略。同時，高真空狀態也具有穩定性好、相關幹擾小、能更準確地測量等特性。
綜上，真空發生器的工作過程就是將目標容器或系統內的氣體通過抽氣階段和中檔階段，使得氣壓降低，最終達到高真空狀態的過程。