2nm 以下節點裝備競賽打響，台積電魏哲家密訪 ASML 總部

本站5 月28 日消息，根據韓媒Business Korea 報道，台積電首席執行官魏哲家撇開了5 月23 日自家舉辦的“台積電2024 技術研討會”，前往荷蘭訪問位於Eindhoven 的ASML總部，以及訪問德國Ditzingen 的工業雷射專業公司TRUMPF。

ASML 執行長 Christophe Fouquet 和 TRUMPF 執行長 Nicola Leibinger-Kammüller 透過社群媒體揭露了魏總秘密出訪的行蹤。

#Fuke執行長表示：「我們向魏總介紹了我們的最新技術和新產品，包括高數值孔徑比（High NA）EUV 設備將如何實現未來的半導體微處理技術」。

5月14日報道稱，台積電張曉強博士於5月14日在阿姆斯特丹舉辦的技術研討會上表示：「ASML 的High-NA EUV 太貴了，我非常喜歡High-NA EUV 的能力，但不喜歡它的價格」。

台積電正考慮將於2026年下半年量產的1.6奈米產品A16之後的製程引入High NA EUV設備，同時在此之前使用現有Low NA EUV設備。

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