ASMLs erste neue EUV-Lithographiemaschine Twinscan NXE:3800E hat die Installation abgeschlossen

Der Hersteller von Lithografiemaschinen ASML gab bekannt, dass die erste neue EUV-Lithografiemaschine Twinscan NXE:3800E erfolgreich installiert wurde. Dieses neue Modell wird eine höhere Produktionseffizienz bringen. Laut Nachrichten vom 13. März hat ASML diesen wichtigen Fortschritt gemacht.

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Neben der in der Entwicklung befindlichen Twinscan EXE-Serie von EUV-Lithografiemaschinen mit hoher NA aktualisiert und verbessert ASML auch kontinuierlich seine NXE-Serie traditioneller EUV-Lithografiemaschinen mit numerischer Apertur. Das zukünftige Ziel ist die Einführung des NXE:4000F-Modells 2025.

Die letzten beiden Generationen der Modelle der NXE-Serie, 3400C und 3600D, sind für die 7~5- bzw. 5~3-nm-Knotenproduktion geeignet. Das deutsche Medienunternehmen ComputerBase geht daher davon aus, dass 3800E voraussichtlich hochmoderne 3~2-nm-Prozesse unterstützen wird .

Laut der 2021-Version der Roadmap, die zuvor von ASML geteilt wurde, wird das Twinscan NXE:3800E-System die Ausrichtungsgenauigkeit (Overlay) und die Produktionskapazität im Vergleich zur Vorgängergeneration 3600D weiter verbessern und einen stündlichen Durchsatz von 195 Wafern erreichen Dies entspricht einer deutlichen Steigerung von fast 22 % im Vergleich zu den 160 Teilen der 3600D und wird voraussichtlich das Ziel von 220 Teilen erreichen (entsprechend einer Steigerung von 37,5 %).

▲ Version 2021 der ASML-Lithographiemaschinen-Roadmap. Bildquelle ASML, das Gleiche unten

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