Der CEO von ASML verspricht, bis Ende des Jahres die erste High-NA-EUV-Lithografiemaschine auszuliefern: Sie ist etwa so groß wie ein LKW und wird für 300 Millionen US-Dollar pro Stück verkauft

Laut Nachrichten dieser Website vom 6. September sagte ASML-CEO Peter Wennink kürzlich in einem Interview mit Reuters, dass Trotz einiger Hindernisse seitens der Zulieferer das Unternehmen bis Ende dieses Jahres weiterhin High liefern wird, gemäß dem zuvor festgelegten Plan. NA EUV-Maschine.

ASML gibt an, dass ein EUV-Lithographiegerät mit hoher numerischer Apertur (High-NA EUV) ungefähr die gleiche Größe wie ein LKW hat und jedes Gerät für mehr als 300 Millionen US-Dollar verkauft wird (Hinweis von dieser Website). : derzeit etwa 2,19 Milliarden US-Dollar) Yuan), kann den Bedarf erstklassiger Chiphersteller decken und im nächsten Jahrzehnt kleinere und bessere Chips herstellen.

Wennink sagte, dass einige Lieferanten nicht in der Lage seien, die Quantität und Qualität der Komponenten zu verbessern, was zu leichten Verzögerungen geführt habe, aber insgesamt seien diese Schwierigkeiten beherrschbar, und versprach, die erste Maschine noch in diesem Jahr zu liefern.

Diese Website berichtete zuvor, dass ASML und seine Partner für die Post-3-nm-Ära eine neue EUV-Lithographiemaschine entwickeln – die Twinscan EXE:5000-Serie. Diese Maschinenserie wird über 0,55 NA-Objektive (hohe NA) verfügen und eine Auflösung erreichen 8 nm, wodurch Doppel- oder Mehrfachbelichtungen in Knoten ab 3 nm weitestgehend vermieden werden.

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