消息称英特尔考虑引入 DSA 技术辅助 High NA EUV 光刻，提升图案质量

本站 4 月 19 日消息，综合外媒 SemiAnalysis 和 The Elec 报道，英特尔考虑在未来的 High NA EUV 光刻节点导入定向自组装 DSA 技术进行辅助。

DSA是一项被认为可部分取代传统光刻的新型图案化技术之一（本站注：另一项是纳米压印NIL），其利用嵌合共聚物的分子特性实现图案化。一般被认为适合辅助传统光刻而非独立运用。

▲ 嵌段共聚物分子在诱导下可自动排列成有规律的图案形态。图源德国默克

SemiAnalysis认为，High NA EUV光刻面临的一个大问题就是关键尺寸（CD，衡量半导体工艺精细程度的关键指标）的一致性。定时照射剂量和光刻机晶圆吞吐量的矛盾导致了CD的变异。为了解决这个问题，需要采取一系列措施来提高光刻机的稳定性和光刻剂量的均匀性。

如果晶圆厂需要在保证关键尺寸的前提下拥有良好的图案化效果，那么就必须加大照射剂量。这将导致光刻过程放慢，光刻机晶圆吞吐量降低，晶圆厂成本负担加重。

如果晶圆厂以较高的吞吐量运行光刻机，那就意味着光刻图案的质量随照射剂量的减少而下降。此时 DSA 定向自组装技术就可发挥作用，修复光刻图案上的特征错误。

引入 DSA 定向自组装可在提升光刻图案质量的同时，降低照射剂量，提升光刻机晶圆吞吐量，使 High NA EUV 光刻更具成本可行性。

除 DSA 外，英特尔也考虑在 High NA EUV 光刻中导入图案塑形技术。

应用材料公司于去年初发布了Centura Sculpta图案塑形系统。该系统可定向精确修改晶圆上的特征图案，减少关键图层的光刻次数，也具有提升光刻图案质量的作用。

三星电子方面也有引入 Centura Sculpta 系统的意向。

英特尔研究员马克・菲利普（Mark Phillip）强调：“为了提高光刻工艺的效率，有必要引入光刻机以外的设备来进行补充。”

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