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ASML回应DUV光刻机出口认可问题:仅部分型号受限

王林
王林转载
2023-07-01 17:33:17935浏览

7月1日消息,据小编了解,光刻机领导者ASML公司近日回应了关于其旗下DUV光刻机出口认可的问题,进一步澄清了相关规定和时间表。

根据ASML的表态,出口管制条例仅适用于一些最新型号的DUV光刻机,特别是包括TWINSCAN NXT:2000i及其后续推出的浸润式光刻系统。而EUV光刻机在之前已经受到了限制,其他类型的光刻机发运并未受到管控。

ASML回应DUV光刻机出口认可问题:仅部分型号受限

ASML强调,这一管制规定将于9月1日正式生效,而公司已经积极向相关部门提交了许可申请,以确保业务的正常进行。因此,在9月1日之前发货的DUV光刻机不受影响,业界此前猜测的TWINSCAN NXT:1980Di型号也不会受到影响。

半导体行业的高层管理人员曾表示,只有通过通力合作,才能构建一个完全独立的产业链。他们强调,即使不是不可能,但实现这一目标也会极其困难。

此次ASML对DUV光刻机出口认可问题的回应引起了广泛关注。希望ASML能够成功获得相关许可,以保障行业的稳定发展,业界一直对许可申请的进展持续关注。

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