apa itu sensor mems

Penderia MEMS ialah sistem mekanikal-elektronik kecil yang menyepadukan komponen mekanikal dan komponen elektronik pada cip berasaskan silikon Ia menukarkan ubah bentuk mekanikal atau anjakan kepada isyarat elektrik untuk mencapai pengukuran pelbagai parameter fizikal. Terdapat pelbagai jenis penderia MEMS, termasuk pecutan, giroskop, penderia tekanan, penderia suhu dan biosensor, yang digunakan secara meluas dalam bidang elektronik pengguna, automotif, perubatan, perindustrian dan pertahanan. Dengan perkembangan teknologi, penderia MEMS dijangka mencapai kejayaan selanjutnya dalam saiz, prestasi dan senario aplikasi.

Penderia MEMS: Sistem Mekanikal Mikro

Penderia Sistem Mekanikal Mikro (MEMS) ialah penderia kecil yang mengintegrasikan komponen mekanikal dan elektronik pada satu cip. Ia biasanya diperbuat daripada substrat berasaskan silikon dan mempunyai kelebihan saiz kecil, ringan, dan penggunaan kuasa yang rendah.

Prinsip sensor MEMS

Penderia MEMS menggunakan sifat mekanikal struktur mikro-elektromekanikal untuk bertindak balas terhadap perubahan dalam parameter fizikal. Apabila parameter fizikal yang diukur bertindak pada struktur MEMS, ubah bentuk mekanikal atau anjakan akan berlaku. Ubah bentuk atau anjakan ini akan ditukar kepada isyarat elektrik melalui mekanisme penukaran seperti kemuatan, rintangan atau kesan piezoelektrik, dan kemudian diproses melalui litar pemprosesan isyarat untuk mendapatkan output digital parameter yang diukur.

Jenis penderia MEMS

Berdasarkan parameter fizikal yang dikesan, penderia MEMS boleh dibahagikan kepada pelbagai jenis, termasuk:

• Pecutan: mengukur pecutan
• Gyroscope ukuran halaju
Gyroscope: ukuran tekanan angular
• Penderia Suhu: Menyukat suhu
• Biosensor: Mengesan bahan biologi tertentu

Aplikasi Penderia MEMS

Penderia MEMS digunakan secara meluas dalam pelbagai bidang, termasuk:

• Telefon Pintar
Automotif:
• Sistem keselamatan kereta, sistem navigasi
Penjagaan kesihatan:
• Peranti perubatan, peranti boleh pakai
Industri:
• Kawalan proses, sistem pemantauan
Pertahanan:
• Pandu arah senjata,
Prospek Pembangunan MEMS Sensor

Teknologi sensor MEMS masih berkembang dan dijangka akan membuat penemuan dalam aspek berikut pada masa hadapan:

Pengurangan lagi dalam saiz dan berat

Peningkatan prestasi dan pengurangan penggunaan kuasa
• Bahan dan pembuatan baharu Penggunaan teknologi
• Integrasi dengan Kepintaran Buatan dan IoT

Atas ialah kandungan terperinci apa itu sensor mems. Untuk maklumat lanjut, sila ikut artikel berkaitan lain di laman web China PHP!