Mesin litografi EUV baharu ASML Twinscan NXE:3800E selesai pemasangan

Pengilang mesin litografi ASML mengumumkan bahawa mesin litografi EUV baharu pertama Twinscan NXE:3800E telah berjaya dipasang Model baharu ini akan membawa kecekapan pengeluaran yang lebih tinggi. Menurut berita pada 13 Mac, ASML telah mencapai kemajuan penting ini.

▲ Perkembangan berkaitan ASML pada

Selain siri Twinscan EXE mesin litografi EUV tinggi NA yang sedang dibangunkan, ASML juga sentiasa mengemas kini dan menaik taraf siri NXE mesin litografi EUV bukaan berangka tradisional Matlamat masa depan adalah untuk melancarkan model NXE:4000F 2025.

Dua generasi terakhir model siri NXE, 3400C dan 3600D, masing-masing sesuai untuk pengeluaran nod 7~5 dan 5~3 nm ComputerBase media Jerman meramalkan bahawa 3800E dijangka menyokong proses canggih 3~2 nm. .

Menurut peta jalan versi 2021 yang dikongsi oleh ASML sebelum ini, sistem Twinscan NXE:3800E akan meningkatkan lagi ketepatan penjajaran (Tindan) dan kapasiti pengeluaran berbanding generasi sebelumnya 3600D, dan boleh mencapai daya pemprosesan setiap jam sebanyak 195 , yang bersamaan dengan Ini adalah peningkatan ketara hampir 22% berbanding 160 keping 3600D, dan dijangka mencapai sasaran 220 keping (bersamaan dengan peningkatan sebanyak 37.5%).

▲ Versi 2021 peta jalan mesin litografi ASML. Sumber imej ASML, sama di bawah

Atas ialah kandungan terperinci Mesin litografi EUV baharu ASML Twinscan NXE:3800E selesai pemasangan. Untuk maklumat lanjut, sila ikut artikel berkaitan lain di laman web China PHP!