Samsung didedahkan untuk mula memasang mesin litografi ASML High-NA EUV yang pertama pada penghujung 2024 paling awal

Berita dari laman web ini pada 16 Ogos, Seoul Economic Daily melaporkan semalam (15 Ogos) bahawa Samsung akan memasang mesin litografi High-NA EUV pertama daripada ASML antara suku keempat 2024 dan suku pertama 2025. , dan dijangka akan mula digunakan pada pertengahan 2025.

Dilaporkan bahawa Samsung akan memasang mesin litografi ASML Twinscan EXE:5000 High-NA yang pertama di kampus Hwaseongnya, terutamanya untuk tujuan penyelidikan dan pembangunan untuk membangunkan teknologi pembuatan generasi akan datang untuk logik dan DRAM.

Samsung merancang untuk membangunkan ekosistem yang kukuh di sekitar teknologi High-NA EUV: Selain memperoleh peralatan litografi EUV NA tinggi, Samsung juga bekerjasama dengan Lasertec Corporation Jepun untuk membangunkan peralatan pemeriksaan khusus untuk topeng foto High-NA.

Tapak ini memetik DigiTimes sebagai melaporkan bahawa Samsung telah membeli alat pemeriksaan topeng High-NA EUV Lasertec Actis A300.

1. Dr. Min Cheol-ki dari Institut Penyelidikan Semikonduktor Elektronik Samsung berkata pada Simposium Litografi dan Corak 2024: “Berbanding dengan [alat khusus EUV] tradisional, menggunakan [alat khusus EUV High-NA] Memeriksa topeng semikonduktor boleh meningkatkan kontras lebih daripada 30%."

2. Laporan itu juga mengatakan bahawa Samsung juga bekerjasama dengan pengeluar photoresist JSR dan pengeluar mesin etsa Tokyo Electronics untuk bersedia untuk meletakkan alat Gaona EUV ke dalam aplikasi komersial menjelang 2027.
3. Samsung juga bekerjasama dengan Synopsys untuk beralih daripada reka bentuk litar tradisional kepada corak melengkung pada topeng foto. Peralihan ini dijangka meningkatkan ketepatan litar yang dicetak pada wafer, yang penting untuk menambah baik teknologi proses.

Atas ialah kandungan terperinci Samsung didedahkan untuk mula memasang mesin litografi ASML High-NA EUV yang pertama pada penghujung 2024 paling awal. Untuk maklumat lanjut, sila ikut artikel berkaitan lain di laman web China PHP!