ASML 최초의 새로운 EUV 리소그래피 기계 Twinscan NXE:3800E 설치 완료

리소그래피 기계 제조업체 ASML은 최초의 새로운 EUV 리소그래피 기계 Twinscan NXE:3800E가 성공적으로 설치되었다고 발표했습니다. 이 새로운 모델은 더 높은 생산 효율성을 가져올 것입니다. 3월 13일 뉴스에 따르면 ASML은 이러한 중요한 진전을 이루었습니다.

▲ ASML 관련 개발

개발 중인 High-NA EUV 리소그래피 기계인 Twinscan EXE 시리즈 외에도 ASML은 전통적인 수치 조리개 EUV 리소그래피 기계인 NXE 시리즈를 지속적으로 업데이트하고 업그레이드하고 있습니다. 향후 목표는 NXE:4000F 모델을 2019년에 출시하는 것입니다. 2025.

NXE 시리즈의 마지막 2세대 모델인 3400C와 3600D는 각각 7~5nm 및 5~3nm 노드 생산에 적합하므로 독일 언론 ComputerBase는 3800E가 3~2nm 최첨단 공정을 지원할 것으로 예상합니다. .

ASML이 이전에 공유한 로드맵의 2021년 버전에 따르면 Twinscan NXE:3800E 시스템은 이전 세대 3600D에 비해 정렬 정확도(오버레이)와 생산 능력을 더욱 향상시키고 시간당 195개의 웨이퍼 처리량을 달성할 수 있습니다. 이는 3600D의 160개에 비해 22% 가까이 대폭 늘어난 수치로, 목표치인 220개(37.5% 증가에 해당)에 도달할 것으로 예상된다.

▲ ASML 노광기 로드맵 2021 버전. 이미지 소스 ASML, 아래와 동일

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