리소그래피 기계를 발명한 사람은 누구입니까?

사진 평판 기계는 1822년 프랑스인 Nicephore niepce에 의해 발명되었습니다. 처음에 Nicephore niepce는 기름종이에 새겨질 수 있는 일종의 각인을 발견했습니다. 그것이 유리판에 나타났을 때, 일정 시간이 지난 후 햇빛에 노출되었을 때. , 빛이 투명한 부분은 매우 단단해지지만 불투명한 부분은 로진과 식물성 기름으로 씻어낼 수 있습니다.

이 튜토리얼의 운영 환경: Windows 7 시스템, Dell G3 컴퓨터.

마스크 정렬 노광기, 노광 시스템, 리소그래피 시스템 등으로도 알려진 리소그래피 기계(리소그래피)는 칩 제조의 핵심 장비입니다. 포토 프린팅과 유사한 기술을 사용하여 빛에 노출시켜 마스크의 미세한 패턴을 실리콘 웨이퍼에 인쇄합니다.

사진 평판 기계를 발명한 사람

프랑스인 Nicephore Niepce는 1822년에 사진 평판 기계를 발명했습니다. 처음에 Nicephore Niepce는 기름 종이에 새겨질 수 있는 표시를 발견한 후, 시간이 좀 지나서 발견했습니다. 햇빛에 노출되면 빛이 투과하는 부분이 매우 단단해지지만 불투명한 부분은 로진과 식물성 기름으로 씻어낼 수 있습니다.

포토리소그래피 기계는 더 일찍 발명되었지만, 발명된 이후에는 다양한 산업 분야에서 사용되지 않았습니다. 이 기술이 인쇄 회로 기판에 적용된 것은 아닙니다. 플라스틱 기판에 구리 회로를 생산함으로써 짧은 시간 내에 많은 전자 장비 분야에서 가장 중요한 재료 중 하나가 되었습니다.

오늘날 포토리소그래피 기계는 반도체 생산 및 제조의 주요 생산 장비가 되었으며, 전체 반도체 시장에서 수평적 기술의 상징으로 자리잡았습니다.

리소그래피 기계를 제조하려면 어떤 기술이 필요합니까?

리소그래피 기계의 제조 시스템은 매우 복잡하며 두 가지 중요한 점이 바로 정밀 부품과 조립 기술입니다.

1. 정밀 부품

사진 평판 기계를 제조하려면 수만 개의 정밀 부품이 필요합니다. 일반적으로 리소그래피 기계를 제조하려면 약 80,000개의 정밀 부품이 필요하며, 현재 세계에서 가장 발전된 극자외선 리소그래피 기계에는 100,000개 이상의 제조 부품이 필요합니다.

전체 포토리소그래피 기계 세트에는 주로 노광 시스템, 자동 정렬 시스템, 전체 기계 소프트웨어 시스템 등을 포함한 여러 구성 요소 시스템이 포함됩니다. 그중 노광 시스템에는 조명 시스템과 투영 대물 렌즈가 포함됩니다.

광학기술을 구성하는 모든 핵심정밀부품 중에서도 광학렌즈, 광학광원, 듀얼 작업대가 핵심의 핵심이라고 할 수 있습니다.

개구수가 높은 광학 렌즈는 리소그래피 기계의 해상도와 임계값 오류 기능을 결정합니다. 해상도 및 정합 오류 기능은 리소그래피 기계에 매우 중요합니다. 세계 최첨단 EUV 극자외선 노광기에 사용할 수 있는 유일한 렌즈는 자이스(Zeiss)에서 생산하는 렌즈입니다.

노광기의 광학광원에 포함된 광원의 파장은 노광기의 산업적 능력을 결정하는 중요한 부분입니다. 특별한 주의가 필요한 것은 리소그래피 기계에 필요한 광원이 작은 크기, 높은 출력 및 안정성을 가져야 한다는 것입니다.

예를 들어 EUV 리소그래피 기계에 사용되는 광원은 파장이 13.5나노미터에 불과하고 사용되는 광학 시스템이 매우 복잡합니다.

노광기에 필요한 작업대 시스템은 작동 중 노광기의 정확성과 생산성에 영향을 미칠 수 있으며, 관련된 포괄적인 기술적 난이도가 매우 높습니다. 이러한 종류의 작업대는 실리콘 웨이퍼를 운반하기 때문에 웨이퍼 로딩 및 언로딩, 정렬, 필드 표면 측정, 노출 등을 포함하여 리소그래피 기계 작동 중에 일련의 초정밀 모션 시스템을 완성할 수 있습니다.

2. 조립 기술

사진 평판 기계에는 정밀한 부품이 필요할 뿐만 아니라 이러한 부품의 조립 기술도 중요합니다.

모든 부품이 준비되면 후속 조립 공정이 사진 평판 기계의 작동 성능에 직접적인 영향을 미칩니다. 오늘날 리소그래피 기계의 주요 제조업체인 네덜란드 회사 ASML(중국어 번역: ASML)의 생산 공정은 본질적으로 부품 조립 회사에 가깝습니다. ASML이 리소그래피 기계를 생산하는 데 필요한 구성 요소의 거의 90%가 다음에서 소싱되기 때문입니다. 전 세계적으로 5,000개가 넘는 공급업체를 보유하고 있습니다.

즉, ASML이 사진 노광 기계 제조 기술 측면에서 니콘, 캐논 등 다른 사진 노광 기계 생산 경쟁사들을 물리치고, 글로벌 사진 노광 기계 제조 및 판매 시장에서 선도적인 위치를 차지할 수 있었던 중요한 이유는 조립기술이 강하다는 거죠.

강한 사진 평판 기계 조립 회사는 다양한 숙련된 기술 인력과 다양한 조립 지적 재산권을 보유해야 다양한 정밀 부품을 조립하는 방법을 명확하게 이해하고 숙련된 작업 및 시스템 지식을 신속하고 정확하게 사용할 수 있습니다. 포토리소그래피 기계를 제조합니다.

중국은 거의 20년 동안 핵심 기술 혁신을 이룬 후 포토리소그래피 기계 기술에서 큰 발전을 이루었습니다.

리소그래피 기계의 이중 작업대는 중국 Huazhuo Jingke와 Tsinghua University 팀이 공동 개발한 이중 작업대로 ASML의 기술 독점을 무너뜨렸습니다. 하얼빈 공과대학 및 기타 대학에서 개발했으며 전국 유명 과학 연구 기관의 헌신적인 연구를 통해 급속한 발전을 이루었습니다.

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