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ノンリソグラフィーソリューション、キヤノン、5nmチップ製造装置を販売開始

WBOY
WBOY転載
2023-10-14 15:13:081023ブラウズ

本サイトの10月14日のニュースによると、キヤノンは最近プレスリリースを発表し、複雑なフォトリソグラフィー技術とは異なるソリューションで5nmのチップを製造できると述べ、チップ製造装置FPA-1200NZ2Cの販売を開始したとのこと。

非光刻方案,佳能开始销售 5nm 芯片生产设备
# キヤノンは、生産設備の動作が業界リーダーである ASML とは異なると述べました。フォトリソグラフィーよりも印刷法に似ています。集積回路の微細構造をシリコンウェーハに転写するのに画像投影の原理は使用しません。

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この装置セットは最小限の用途に適用できます。 は 14 平方ミリメートルのシリコンウェーハから、5nm プロセスと同等のチップを生産できます。

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キヤノンは、このシステムの改善と開発を継続すると述べており、 は 2nm チップの生産に使用されることが期待されています将来。

このサイトからの注: ナノプリント リソグラフィーは一般に光リソグラフィーの低コスト代替手段と考えられており、SK Hynix や Kioxia などのメモリ チップ メーカーは過去にナノプリント リソグラフィーの使用を試みてきました。キオクシアは以前にもテストを実施していたが、潜在顧客から製品の不良率が高いとの苦情があり、最終的に断念した。

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