Le rôle de la résine photosensible

La résine photosensible est utilisée pour transférer des modèles de conception de circuits sur des plaquettes et constitue un matériau clé dans la fabrication de semi-conducteurs. Sa fonction est de rendre la partie réceptrice de lumière insoluble dans le révélateur, réalisant ainsi un transfert de motif. Selon la photosensibilité, les photorésists sont divisés en positifs (utilisés pour créer des lignes de circuit) et négatifs (utilisés pour créer des espaces de circuit). Il est largement utilisé dans les circuits intégrés, les dispositifs microélectroniques, les cartes de circuits imprimés, la fabrication d'instruments optiques et d'autres domaines.

Le rôle de la résine photosensible

La photorésiste est un matériau clé utilisé pour fabriquer des circuits intégrés dans le processus de fabrication des semi-conducteurs. Sa fonction est de transférer le modèle de conception du circuit sur la tranche.

Principe de la photoresist

La photoresist est un polymère organique sensible à la lumière ultraviolette ou aux faisceaux d'électrons. Lorsque la lumière frappe la résine photosensible, le polymère devient réticulé et devient insoluble dans le révélateur. La partie non irradiée reste soluble.

Le processus de fabrication de la résine photosensible

Le processus de fabrication de la résine photosensible comprend les étapes suivantes :

• Polymère synthétique
• Ajouter du photosensibilisateur
• Dissoudre le polymère dans le solvant
• Filtration et dégazage
• Enduit sur le wa fer

Types de photorésist

Selon la sensibilité du photorésist à la lumière, il peut être divisé en photorésist positif et photorésist négatif :

• Résist à la lumière positive : Le polymère formé après irradiation devient insoluble dans le révélateur et est utilisé pour réaliser des lignes de circuit.
• Photorésist négatif : Le polymère formé après irradiation devient soluble dans le révélateur et est utilisé pour créer un espace de circuit.

Applications de la résine photosensible

La résine photosensible est largement utilisée dans :

Fabrication de circuits intégrés
• Fabrication de dispositifs microélectroniques
• Fabrication de circuits imprimés
• Fabrication d'instruments optiques

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