Maison > Article > Périphériques technologiques > Solution non lithographique, Canon commence à vendre des équipements de production de puces 5 nm
Selon les informations de ce site Web du 14 octobre, Canon a récemment publié un communiqué de presse pour commencer à vendre un équipement de production de puces FPA-1200NZ2C Il a déclaré qu'il pouvait fabriquer des puces de 5 nm en utilisant une solution différente de la technologie de photolithographie complexe.
Canon affirme que cet équipement de production fonctionne différemment du leader de l'industrie ASML. Cela ressemble plus à l’impression qu’à la photolithographie. Il n'utilise pas le principe de projection d'image pour transférer la microstructure du circuit intégré sur la plaquette de silicium
Cet ensemble d'équipements peut être appliqué à des plaquettes de silicium aussi petites que 14 millimètres carrés,afin qu'il puisse produire l’équivalent d’une puce de processus de 5 nm.
Canon a déclaré qu'il continuerait à améliorer et à développer ce système, Il devrait être utilisé pour produire des puces de 2 nm à l'avenir.
Note de ce site : la lithographie nano-imprimée est généralement considérée comme une alternative peu coûteuse à la lithographie optique, et les fabricants de puces mémoire tels que SK Hynix et Kioxia ont essayé de l'utiliser dans le passé. Kioxia avait déjà effectué des tests, mais des clients potentiels se sont plaints du taux de défauts élevé du produit et ont finalement abandonné.
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