Die innovative Halbleiter-CMP-Polierpad-Technologie von SK hynix ermöglicht eine nachhaltige Nutzung

Laut Nachrichten dieser Website vom 27. Dezember hat SK Hynix laut koreanischen Medien ETNews kürzlich eine wiederverwendbare CMP-Polierpad-Technologie entwickelt, die nicht nur die Kosten senken, sondern auch das ESG-Management (Umwelt, Soziales, Governance) verbessern kann.

SK Hynix gab an, dass sie zunächst wiederverwendbare CMP-Polierpads in Prozessen mit geringem Risiko einsetzen und ihren Anwendungsbereich schrittweise erweitern werden

Hinweis von dieser Website: Bei der CMP-Technologie handelt es sich um die gemeinsame Einwirkung von Chemikalien und Mechaniken auf das polierte Material. Die Oberfläche des Materials erreicht die erforderliche Ebenheit. Die chemischen Komponenten in der Polierflüssigkeit reagieren chemisch mit der Materialoberfläche und bilden eine erweichte Schicht, die sich leicht polieren lässt. Das Polierpad und die Schleifpartikel in der Polierflüssigkeit polieren die Materialoberfläche physikalisch und mechanisch, um die erweichte Schicht zu entfernen.

Quelle: Dinglong Shares

Im CMP-Prozess sind die Hauptfunktionen des Polierpads:

• Um eine gleichmäßige Verteilung der Polierflüssigkeit auf den gesamten Bearbeitungsbereich zu erreichen und neue Zusatzpolituren bereitzustellen Flüssigkeit Um den Zyklus durchzuführen, müssen die folgenden Vorgänge durchgeführt werden:

• Entfernen Sie Rückstände auf der Werkstückoberfläche, die durch den Poliervorgang entstanden sind, wie z Belastung beim Materialtransfer;

• Es ist sehr wichtig, die für den Polierprozess erforderliche mechanische und chemische Umgebung aufrechtzuerhalten. Neben den mechanischen Eigenschaften des Polierpads haben auch die Struktureigenschaften der Oberfläche Einfluss auf die Poliereffizienz und Ebenheit. Beispielsweise wirken sich die Form der Mikroporen, die Porosität und die Rillenform auf den Fluss und die Verteilung der Polierflüssigkeit aus % der CMP-Polierpads verwenden ausländische Produkte und sind stark vom Ausland abhängig. Durch den Durchbruch dieser Technologie kann jedoch die weitere unabhängige Entwicklung der koreanischen Halbleiterindustrie gefördert werden

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